特點
近年信息產(chǎn)業(yè)的崛起，使半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備所使用的直線導(dǎo)軌的數(shù)量急劇增加。
在這些制造工程中存在氧化、擴散等熱處理工程，其周邊裝置所使用的直線導(dǎo)軌也必須具有耐熱性。
在此介紹用于此處的NSK直線導(dǎo)軌耐熱系列。
1. 可使用在耐熱性150℃（瞬時200 ℃ ）
使用塑料制循環(huán)部件的標準直線導(dǎo)軌最高使用環(huán)境溫度為80 ℃。超過此溫度使用于高溫環(huán)境時，請使用耐熱規(guī)格的直線導(dǎo)軌。
端蓋使用SUS材料金屬粉末射出成型品，密封圈和側(cè)密封圈使用含氟橡膠的NSK直線導(dǎo)軌耐熱系列可使用于150℃（瞬時200 ℃ ）的環(huán)境中。
2. 耐蝕性
使用SUS材料所制的端蓋和含氟橡膠材料所制的底密封圈和側(cè)密封圈，進而具有耐蝕性。
3. 多種應(yīng)對系列
應(yīng)對系列如下表所示具有多種系列，通過各種規(guī)格，能廣泛應(yīng)對各種需求。
另有耐熱波紋防護罩。
